該系列產(chǎn)品內(nèi)部采用CMOS混合信號調(diào)理芯片(內(nèi)含倍率可調(diào)PGA和24-bit Σ-ΔADC)對MEMS芯體的輸出進(jìn)行放大,校準(zhǔn)和補償,能將-10kPa至+10kPa以及 -350kPa至+350kPa的不同壓力量程信號轉(zhuǎn)換為可自定義輸出范圍(0~5V)的模擬信號以及數(shù)字I2C信號。同時,內(nèi)置的MEMS差壓壓力芯體是基于高靈敏度的單晶硅壓阻效應(yīng)并采用先進(jìn)的硅硅鍵合CSOI MEMS微加工工藝設(shè)計而成,MEMS芯體生命周期內(nèi)精度和穩(wěn)定性優(yōu)于1%F.S.。
產(chǎn)品主要特點如下:
高精度低功耗:高度線性,穩(wěn)定性好,無需校準(zhǔn),100%溫度補償,出廠精度優(yōu)于±1%F.S.,生命周期內(nèi)精度優(yōu)于±2%F.S.。
多種輸出方式:支持模擬絕對輸出以及數(shù)字I2C輸出,適用于多種應(yīng)用需求,簡單便利,可移植性好。
定制化產(chǎn)品:支持-10kPa~+10kPa以及-350kPa~+350kPa等多款量程定制,適用于多種壓力應(yīng)用場景,高靈活性。
寬溫度范圍:-20℃~70℃的工作溫度,可適用于各類惡劣的工作環(huán)境;同時,0℃~70℃的溫度補償范圍可以減少溫度變化對產(chǎn)品性能的影響,保障產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
雙氣嘴封裝形式:采用符合業(yè)界JEDEC標(biāo)準(zhǔn)的雙氣嘴SOIC-16封裝形式,可以pin-to-pin兼容SMI微差壓系列產(chǎn)品;具有較高可靠性與應(yīng)力消除特性,在保證產(chǎn)品優(yōu)異性能和可靠性的同時方便客戶焊接和使用。
納芯微不僅擁有自主研發(fā)的MEMS設(shè)計與封裝技術(shù)以及多壓力溫度點自動化批量標(biāo)定技術(shù);可以為客戶提供更靈活的交付,降低供應(yīng)鏈風(fēng)險;還可以根據(jù)客戶需求提供定制化合封產(chǎn)品,滿足不同場景的應(yīng)用需求。